申請(qǐng)（專利）號(hào)：CN200810050938.9申請(qǐng)日：2008.07.08
公開（公告）號(hào)：CN101308059公開（公告）日：2008.11.19
主分類號(hào)：G01M11/02(2006.01)I范疇分類：
分類號(hào)：G01M11/02(2006.01)I
優(yōu)先權(quán)：
申請(qǐng)（專利權(quán)）人：中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
地址：130033吉林省長(zhǎng)春市東南湖大路16號(hào)
國(guó)省代碼：吉林；22
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：王淑榮；王加朋；李福田
國(guó)際申請(qǐng)：
國(guó)際公布：
進(jìn)入國(guó)家日期：
專利代理機(jī)構(gòu)：長(zhǎng)春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所
代理人：趙炳仁
分案申請(qǐng)?zhí)枺?br/>頒證日：






摘要：
本發(fā)明涉及一種紫外光學(xué)儀器分辨率測(cè)試儀，氘燈光源通過機(jī)械可變光闌、石英聚光鏡按1∶1比例成像于紫外單色儀的入射狹縫組機(jī)構(gòu)上，由紫外單色儀出射狹縫處發(fā)射出的紫外光均勻照射在紫外漫透射器上，紫外漫透射器和紫外分辨率板通過卡具壓緊在一起，固定在置于出射狹縫之后的二維調(diào)節(jié)平臺(tái)上，經(jīng)過紫外漫透射器的漫透射作用，紫外分辨率板局部被均勻照明，紫外分辨率板經(jīng)過平面反射鏡和非球面準(zhǔn)直鏡形成無限遠(yuǎn)紫外分辨目標(biāo)；待測(cè)光學(xué)儀器平臺(tái)置于光學(xué)導(dǎo)軌上，光學(xué)導(dǎo)軌軸線與平行光路的光軸重合。本發(fā)明采用非球面設(shè)計(jì)反射式平行光管，形成無窮遠(yuǎn)紫外分辨率目標(biāo)。不僅減少了設(shè)計(jì)和加工成本，而且使紫外能量得到了程度的利用。
主權(quán)項(xiàng)：
一種紫外光學(xué)儀器分辨率測(cè)試儀，包括氘燈光源(1)、機(jī)械可變光闌(2)、石英聚光鏡(3)、由入射狹縫組機(jī)構(gòu)(4)和準(zhǔn)直反射鏡(5)、與波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(18)相連接的閃耀光柵(6)、成像反射鏡(8)、平面反射鏡(9)、出射狹縫(10)構(gòu)成的紫外單色儀、紫外漫透射器(11)、紫外分辨率板(12)、二維調(diào)節(jié)平臺(tái)(13)、轉(zhuǎn)折平面反射鏡(14)、非球面準(zhǔn)直鏡(15)、光學(xué)導(dǎo)軌(16)、待測(cè)光學(xué)儀器平臺(tái)(17)、圖像采集系統(tǒng)(19)和計(jì)算機(jī)(20)。
其特征在于，所述的氘燈光源(1)通過機(jī)械可變光闌(2)、石英聚光鏡(3)按1∶1比例成像于所述的紫外單色儀的入射狹縫組機(jī)構(gòu)(4)上，由紫外單色儀出射狹縫(10)處發(fā)射出的紫外光均勻照射在紫外漫透射器(11)上，紫外漫透射器(11)和紫外分辨率板(12)通過卡具壓緊在一起，固定在二維調(diào)節(jié)平臺(tái)(13)之上，并將二維調(diào)節(jié)平臺(tái)(13)置于出射狹縫(10)之后，經(jīng)過紫外漫透射器(11)的漫透過作用，紫外分辨率板(12)局部被均勻照明，紫外分辨率板(12)經(jīng)過轉(zhuǎn)折平面反射鏡(14)和非球面準(zhǔn)直鏡(15)形成無限遠(yuǎn)紫外分辨目標(biāo)；待測(cè)光學(xué)儀器平臺(tái)(17)置于光學(xué)導(dǎo)軌(16)上，光學(xué)導(dǎo)軌(16)軸線與平行光路的光軸重合；所述的波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(18)和圖像采集系統(tǒng)(19)分別與計(jì)算機(jī)(20)控制連接。http://m.uc-ici.com